P7.12 - Gassensoren auf Basis von Graphen
- Event
- 12. Dresdner Sensor-Symposium 2015
2015-12-07 - 2015-12-09
Hotel Elbflorenz, Dresden - Chapter
- P7. Neuartige Sensormaterialien und -technologien
- Author(s)
- Y. Joseph, V. Khomenko, R. Dittrich - TU Bergakademie Freiberg/D
- Pages
- 266 - 269
- DOI
- 10.5162/12dss2015/P7.12
- ISBN
- 978-3-9813484-9-1
- Price
- free
Abstract
Chemische Sensoren auf Basis von Graphen wurden durch Beschichtung von Si- Wafern mit Graphenoxid (GO) und dessen Reduktion hergestellt. Lithographisch prozessierte interdigitale Elektroden auf den Si-Substraten mit Elektrodenabständen von 10μm ermöglichten sowohl die sensorischen Messungen als auch eine entsprechende Miniaturisierung. Sowohl chemische als auch thermische Reduktionsprozesse wurden untersucht. Die Reduktion von GO mittels Ascorbinsäure ist eine sehr kostengünstige und umweltfreundliche Herstellungsmethode von Graphenschichten. Der Reduktionsgrad wurde mittels UV/vis-Spektroskopie und Photonenelektronenspektroskopie (XPS) untersucht und die Messungen der Leitfähigkeit bestätigen die graphenähnlichen Eigenschaften der Schichten. Die Untersuchung der gassensorischen Eigenschaften erfolgte in Abhängigkeit vom Reduktionsprozess durch Einsatz von Toluol, 1-Propanol, 4-Methyl-2-Pentanon und Wasser als Analyt. Das untersuchte reduzierte GO ist sehr sensibel, Konzentrationen von unter 100 ppm der Analyte konnten detektiert werden.