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18. GMA/ITG-Fachtagung Sensoren und Messsysteme 2016	3.1.1 - Reference nanometrology based on AFM, SEM and TEM techniques	G. Dai, W. Häßler-Grohne, J. Fluegge, H. Bosse - Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Braunschweig (Germany)
18. GMA/ITG-Fachtagung Sensoren und Messsysteme 2016	3.1.2 - Development of a 3D capable probing system based on electrical near-field interactions for micro- and nanocoordinate metrology	Z. Sun, T. Hausotte - Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg, Erlangen (Germany)
18. GMA/ITG-Fachtagung Sensoren und Messsysteme 2016	3.1.4 - Silizium-Mikro-Kraftnormal	G. Hamdana, C. Yan, L. Zhou, H. Wasisto, E. Peiner - Technische Universität Braunschweig, Braunschweig (Deutschland), L. Doering, U. Brand - Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Braunschweig (Deutschland), T. Frank - CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH, Erfurt (Deutschland)