| 16. GMA/ITG-Fachtagung Sensoren und Messsysteme 2012 |
1.1.1 MEMS Inertialsensoren für innovative Applikationen in der Medizintechnik |
M. Füldner - Analog Devices GmbH, München |
| 16. GMA/ITG-Fachtagung Sensoren und Messsysteme 2012 |
1.1.2 Thermisches Verhalten von piezoresistiven Drucksensoren – Charakterisierung |
G. Brokmann, H. Übensee - CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik und Photovoltaik GmbH, G. Gerlach - Technische Universität Dresden |
| 16. GMA/ITG-Fachtagung Sensoren und Messsysteme 2012 |
1.1.3 Optical Position Feedback for electrostatically driven MOEMS-Scanners |
A. Tortschanoff, D. Holzmann, M. Baumgart, A. Frank, A. Kenda - CTR Carinthian Tech Research AG, Villach (Österreich), T. Sandner, M. Wildenhain - Fraunhofer-Institut - IPMS -, Dresden |
| 16. GMA/ITG-Fachtagung Sensoren und Messsysteme 2012 |
1.1.4 MEMS Pirani type vacuum sensor with extended sensitivity range |
M. Simon, C. Dütsch, J. Schieferdecker, K. Storck - Heimann Sensor GmbH, Dresden, F. Völklein, M. Grau - Hochschule RheinMain, Rüsselsheim |