F5 - Hochauflösendes Direktschreiben sensorischer Strukturen unter Anwendung des Aerosoldruckverfahrens
- Event
- 11. Dresdner Sensor-Symposium 2013
2013-12-09 - 2013-12-11
Dreikönigskirche - Haus der Kirche Dresden - Chapter
- 6. Neuartige Sensormaterialien und –technologien
- Author(s)
- S. Ziesche, S. Mosch, M. Ihle, U. Partsch - Fraunhofer IKTS, Dresden/D
- Pages
- 325 - 329
- DOI
- 10.5162/11dss2013/F5
- ISBN
- 978-3-9813484-5-3
- Price
- free
Abstract
Die Anwendung des Aerosoldruckverfahrens in der Herstellung keramikbasierter Sensorik zeigt erhebliche Vorteile gegenüber den konventionellen Herstellungsverfahren der Dick- und Dünnschichttechnik. Im Beitrag wird das Potenzial dieser Technologie durch Vergleich mit alternativen Herstellungsverfahren aufgezeigt und anhand konkreter Beispiele ihre Praktikabilität zur
Verbesserung bestehender sensorischer Lösungen verschiedener Anwendungsbereiche demonstriert.