3.2 - Operando Untersuchung von In2O3-Sensoren durch kombinierte elektrische und optische Messungen
- Event
- 13. Dresdner Sensor-Symposium 2017
2017-12-04 - 2017-12-06
Hotel Elbflorenz, Dresden - Chapter
- 3. Umweltsensorik
- Author(s)
- I. Can, U. Weimar, N. Barsan - Universität Tübingen/D
- Pages
- 95 - 98
- DOI
- 10.5162/13dss2017/3.2
- ISBN
- 978-3-9816876-5-1
- Price
- free
Abstract
Drei unterschiedliche In2O3-Gassensoren wurden hergestellt um den Effekt der Synthese auf die Sensoreigenschaft zu untersuchen. Dabei wurden die Sensoren Wasserstoff in trockener und feuchter Luft ausgesetzt. Die Änderung der Widerstände und die Absoptionsspektren mittels DRIFTS (Diffuse Reflektion Infrarot Fourier Transform Spektroskopie) wurden aufgenommen. Erstmalig wurde die elektronische Wechselwirkung von Wasserstoff mit der In2O3 Oberfläche unter Betriebsbedingungen spektroskopisch erfasst. Die Sensoren zeigen unterschiedliche Änderungen des Grundlinien-Widerstands in feuchter Luft, was auf die unterschiedlichen O-H Gruppen, die sich auf der Oberfläche bilden, zurückzuführen ist. Außerdem konnte beobachtet werden, dass die Effekte der Luftfeuchtigkeit und Wasserstoff wie im Fall von Kohlenstoffmonoxid und Luftfeuchtigkeit bei 300 °C additiv/kompetitiv sind und somit um die reaktiven Oberflächenspeizes konkurrieren, was mit DRIFTS nachgewiesen werden konnte.