4.3 - Untersuchung der optischen Eigenschaften von Palladiumdünnschichten
- Event
- iCCC2026 - iCampus Cottbus Conference
2026-05-05 - 2026-05-07
Cottbus - Band
- Vorträge
- Chapter
- Energiewirtschaft und Material & Prozesstechnologie
- Author(s)
- P. Frenzel, R. Täschner - WHZ Westsächsische Hochschule Zwickau, Zwickau
- Pages
- 67 - 70
- DOI
- 10.5162/iCCC2026/4.3
- ISBN
- 978-3-910600-10-2
- Price
- free
Abstract
Um den Bedarf an Wasserstoff-Sensorik für sauerstofffreie Atmosphären (Elektrolyseure, Gasverteilnetz) zu decken, wird ein innovativer Chip-basierter MOEMS-Wasserstoff-Sensor entwickelt, welcher die Änderung der optischen Transmission von Palladium unter variierenden Wasserstoff-Konzentrationen ausnutzt. Als Basis für den Einsatz der Dünnschichten in der sensorischen Anwendung wurden die optischen Eigenschaften von Palladium bestimmt und werden in diesem Beitrag diskutiert. Weiterführend sollen diese Erkenntnisse in den Kontext der Anwendung gesetzt und erste Annahmen zu Eigenschaften des Sensors getroffen werden.