5.3 - Entwicklung von Plasmonischen On-Chip Sensoren
- Event
- iCCC2026 - iCampus Cottbus Conference
2026-05-05 - 2026-05-07
Cottbus - Band
- Vorträge
- Chapter
- Bio- und Umweltsensorik
- Author(s)
- S. Reiter, A. Sengül, P. -G. Nitsch, F. Berkmann, I. A. Fischer - BTU Cottbus-Senftenberg, Cottbus, C. A. Chavarin, J. Schlipf, C. Mai, C. Wenger - IHP Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik, Frankfurt (Oder)
- Pages
- 87 - 89
- DOI
- 10.5162/iCCC2026/5.3
- ISBN
- 978-3-910600-10-2
- Price
- free
Abstract
Diese Arbeit präsentiert die Entwicklung eines plasmonischen On-Chip Sensors, der als hochsensitiver Brechungsindexsensor für biosensorische Anwendungen konzipiert wurde. Der Sensor integriert ein plasmonisches Titannitrid (TiN) Nanolochgitter (NHA) mit einem Germanium (Ge) Photodetektor. Die optische Transmission durch das NHA wird überwiegend durch plasmonische Anregungen bestimmt und zeigt eine außergewöhnliche optische Transmission (EOT). Diese Resonanzen reagieren äußerst empfindlich auf Änderungen des Brechungsindexes der umgebenden Medien.