2.2 - Mikroskop-basierter interferometrischer Zeilensensor zum schnellen Scannen optischer Funktionsflächen

Event
AHMT 2014 - Symposium des Arbeitskreises der Hochschullehrer für Messtechnik
2014-09-18 - 2014-09-20
Saarbrücken
Chapter
Mikrooptische Messtechnik
Author(s)
P. Kühnhold, H. Knell, P. Lehmann - Fachgebiet Messtechnik, Fachbereich Elektrotechnik/Informatik, Universität Kassel, Kassel/D, S. Laubach, G. Ehret - Arbeitsgruppe Form- und Wellenfrontmetrologie, Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Braunschweig/D
Pages
45 - 54
DOI
10.5162/AHMT2014/2.2
Price
free

Abstract

Die Form optischer Funktionsflächen, z. B. asphärischer Linsen, mit der erforderlichen Genauigkeit zu messen stellt die moderne Messtechnik vor große Herausforderungen. Die Hauptaufgabe dabei besteht darin, große Flexibilität, hohe Messgenauigkeit und hohe Messgeschwindigkeiten mit vertretbaren Gerätekosten zu vereinen.

In diesem Beitrag soll ein neues Messsystem vorgestellt werden, welches in der Lage ist, mit hoher Datenrate, kontaktlos und mit interferometrischer Genauigkeit die Formabweichung optischer Funktionsflächen zu erfassen. Verwendet wird dazu ein Michelson-Interferometermodul, welches mit einem Mikroskop mit 5x Vergrößerung kombiniert wird. Dieses Messsystem ist mit einer schmalbandigen Lichtquelle und einer Zeilenkamera ausgestattet und liefert 790000 Messpunkte pro Sekunde. Um die Interferenzphase zu erhalten, wird der Referenzspiegel zu einer Oszillation entlang der optischen Achse angeregt. Es resultieren phasenmodulierte Interferenzsignale, die ausgewertet und in Höhenwerte umgerechnet werden. Dieser interferometrische Zeilensensor wird mit geeigneten Postionier- und Scanachsen kombiniert, so dass die Formabweichung optischer Funktionsflächen erfasst werden kann.

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