2.2.4 - MEMS-basierter Ga2O3- Hochtemperatur-Gassensor
- Event
- 18. GMA/ITG-Fachtagung Sensoren und Messsysteme 2016
2016-05-10 - 2016-05-11
Nürnberg, Germany - Chapter
- 2.2 Gassensoren für raue Umgebungsatmosphären
- Author(s)
- R. Pohle, M. Schreiter, H. Hedler - Siemens AG, München (Deutschland)
- Pages
- 130 - 133
- DOI
- 10.5162/sensoren2016/2.2.4
- ISBN
- 978-3-9816876-0-6
- Price
- free
Abstract
Im Rahmen des von ENIAC geförderten Projektes “Environmental Sensors for Energy Efficiency” (ESEE) werden Möglichkeiten für eine weitere Verringerung des Energiebedarfs in Gebäuden durch Verwendung neuartiger vernetzter Sensorik untersucht. Ein dabei für die Detektion von unerwünschten Raumluftbestandteilen verfolgter technologischer Weg ist die Miniaturisierung von Hochtemperatur-Gassensoren unter Verwendung serientauglicher MEMS-Prozesse. Das hier beschriebene neuartige Sensorelement beruht auf der Messung des bei Temperaturen > 600°C gasabhängigen elektrischen Widerstands von Ga2O3. Ziel ist dabei, eine miniaturisierte Sensorstruktur zu schaffen, mit deren Hilfe die für diese Messung notwendige Betriebstemperatur von 600°C-850°C mit möglichst geringer elektrischer Heizleistung erreicht werden kann und die zudem sehr kostengünstig hergestellt werden kann. Als Richtgrößen für die wichtigsten Sensoreigenschaften (Gassensitivitäten, Ansprechzeiten, Signalstabilität) dienen dabei die des bereits kommerziell eingesetzten keramischen Ga2O3- Sensorelements.