6.1.2 - Miniatur-Stehende-Welle-Interferometer auf Basis schneller, transparenter Photodioden
- Event
- 18. GMA/ITG-Fachtagung Sensoren und Messsysteme 2016
2016-05-10 - 2016-05-11
Nürnberg, Germany - Chapter
- 6.1 Interferometrische Messverfahren
- Author(s)
- I. Ortlepp, H. Büchner, E. Manske, T. Ivanov, M. Hofer, J. Zöllner, I. Rangelow - Technische Universität Ilmenau, Ilmenau (Deutschland)
- Pages
- 418 - 424
- DOI
- 10.5162/sensoren2016/6.1.2
- ISBN
- 978-3-9816876-0-6
- Price
- free
Abstract
Um den Anforderungen an die Miniaturisierung von Messsystemen Rechnung zu tragen, wurde an der TU Ilmenau ein neuartiges Interferometer auf Grundlage von optischen stehenden Wellen entwickelt. Das Interferometerprinzip erlaubt einen einfachen, linearen und kompakten Interferometeraufbau. Die für das zu Grunde liegende Prinzip erforderlichen dünnen, transparenten Photodioden können durch den Einsatz von Standard-Halbleitertechnologien unkompliziert in großen Stückzahlen hergestellt werden. Im Folgenden werden das Funktionsprinzip des Interferometers, die Herstellung der Photodioden sowie die durchgeführten messtechnischen Untersuchungen dargelegt.