P36 - Untersuchung der dynamischen Energieverteilung in ko-resonant gekoppelten Cantilever-Sensoren

Event
16. Dresdner Sensor-Symposium 2022
2022-12-05 - 2022-12-07
Dresden
Band
Poster
Chapter
Miniaturisierte Sensorik und Messsysteme
Author(s)
N. Edeler, J. Körner - Leibniz Universität Hannover, Hannover/D, I. Lampouras - Technische Universität Ilmenau, Ilmenau/D
Pages
189 - 192
DOI
10.5162/16dss2022/P36
ISBN
978-3-9819376-7-1
Price
free

Abstract

Dynamische Cantilever-Sensoren werden in vielen verschiedenen Bereichen als sensitive Massen- oder Kraftsensoren eingesetzt, z.B. in der Materialcharakterisierung mittels Rastersonden-Methoden oder in der Gassensorik [1,2]. Ein Hauptanliegen ist dabei die Steigerung der Empfindlichkeit bei gleichzeitig zuverlässiger Anregung und Detektion des Schwingungszustandes. Hierfür wurde in den letzten Jahren ein ko-resonanter Ansatz entwickelt, mit dem in verschiedenen experimentellen Arbeiten eine Steigerung des Messsignals um mehrere Größenordnungen gezeigt werden konnte.

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