D1-2.3 - Integration siliziumbasierter Dehnmessstreifen in Keramik zur Realisierung von Nass-Nass Differenzdrucksensoren

Event

23. ITG/GMA-Fachtagung Sensoren und Messsysteme 2026
2026-06-09 - 2026-06-10
Nürnberg

Band

Vorträge

Chapter

Kraft-, Drehmoment-, und Druck

Author(s)

C. Kleinholz, T. Frank, A. Cyriax, S. Jagomast, C. Maier, M. Hintz, T. Ortlepp - CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH, Erfurt, A. Schroeter, U. Krieger - VIA electronic GmbH, Hermsdorf

Pages

163 - 167

DOI

10.5162/sensoren2026/D1-2.3

ISBN

978-3-910600-11-9

Price

free

Abstract

In diesem Beitrag wird die Herstellung von vollständig integrierten Silizium-Dehnmessstreifen (Si-DMS) in ein Keramikmaterial zur Erzeugung von Differenzdrucksensoren für Anwendungen mit Medienkontakt vorgestellt. Die technologischen Herausforderungen im Herstellungsprozess werden aufgezeigt, Fertigungsprozesse etabliert und das Design optimiert. Ziel dieser Untersuchung ist die Herstellung eines membranfreien, medienbeständigen Differenzdrucksensors für Nass-Nass-Anwendungen. Es werden zwei verschiedene Keramikmaterialien zur Einbettung von Si-DMS untersucht: Micromax TM GreenTapeTM 951PX (Celanese) und bondbares Keramiktape (engl. bondable ceramic tape – kurz: BCT, Fraunhofer IKTS). Die Dehnmessstreifen werden auf die noch ungesinterte Keramik aufgebracht und gemeinsam mit der Keramik bei Temperaturen zwischen 850-900°C gesintert. Die Charakterisierung der eingebetteten Si-DMS erfolgt anhand verschiedener Kriterien: optisch, elektrisch und mechanisch.