D3-1.3 - Ultradünne Lithiumtantalat-Chips mit Absorptionsschicht für hochempfindliche pyroelektrische Infrarotsensoren

Event

23. ITG/GMA-Fachtagung Sensoren und Messsysteme 2026
2026-06-09 - 2026-06-10
Nürnberg

Band

Vorträge

Chapter

Temperatursensoren

Author(s)

A. Eydam, G. Gerlach - Technische Universität Dresden, Dresden

Pages

240 - 245

DOI

10.5162/sensoren2026/D3-1.3

ISBN

978-3-910600-11-9

Price

free

Abstract

In dieser Arbeit wird die Herstellung ultradünner Lithiumtantalat-Chips mit einer Dicke von ca. 1 µm beschrieben. Die Abdünnung erfolgt in mehreren Schritten mittels Ionenstrahlätzen, wobei die Inhomogenität des Ausgangswafers als auch des Ätzprozesses berücksichtigt werden müssen. Dabei wird ein Kompromiss zwischen Ausbeute und Bearbeitungszeit gefunden. Neben der Dickentoleranz wird auch der dielektrische Verlustfaktor des Ausgangsmaterials bestimmt, der möglichst gering sein soll. Mittels Schrägwinkelbedampfung wird eine Absorptionsschicht aus Aluminium auf den Chips abgeschieden. Eine Gradientenschicht erreicht dabei Absorptionsgrade von (80 … 90) % für Wellenlängen von (2 … 14) µm.