M2-1.2 - Mikrobolometerplattform mit anpassbaren Metamaterialabsorbern zur multispektralen Bildgebung im Infrarotbereich

Event

23. ITG/GMA-Fachtagung Sensoren und Messsysteme 2026
2026-06-09 - 2026-06-10
Nürnberg

Band

Vorträge

Chapter

Optische und IR-Sensoren 2

Author(s)

A. Litke, S. Weyers, A. L. Schall-Giesecke - Fraunhofer IMS, Duisburg

Pages

385 - 389

DOI

10.5162/sensoren2026/M2-1.2

ISBN

978-3-910600-11-9

Price

free

Abstract

langwelligen In dieser Arbeit stellen wir einen ungekühlten Bildsensor für die multispektrale Bildgebung im mittelwelligen und Infrarotbereich vor, der aus einem Mikrobolometerarray mit anpassbaren plasmonischen Metamaterialabsorbern (PMA) und integrierter digitaler Ausleseschaltung besteht. Der Sensor verfügt über eine Auflösung von 320 × 240 Pixeln. Die spektrale Empfindlichkeit der einzelnen Pixel kann durch Anpassung der Geometrie der oberen Metalllage der PMAs auf die jeweilige Anwendung zugeschnitten werden. Die zu diesem Zweck verwendeten NanotubeMikrobolometer des Fraunhofer IMS weisen einen Pixel-Pitch von 17 μm auf. Der vorgestellte Herstellungsprozess erfolgt auf 200-mm-CMOS-Wafern mit integrierter Ausleseschaltung. Eine mit dem Bildsensor angefertigte multispektrale Aufnahme demonstriert die erfolgreiche Umsetzung.