| 18. GMA/ITG-Fachtagung Sensoren und Messsysteme 2016 |
4.3.2 - Measurement of digital MEMS microphones |
M. Loibl, S. Walser, J. Klugbauer, G. Feiertag - University of Applied Sciences Munich, Munich (Germany), C. Siegel - EPCOS AG A TDK Group Company, Munich (Germany) |
| 18. GMA/ITG-Fachtagung Sensoren und Messsysteme 2016 |
4.3.3 - Application-specific programming of MEMS microphones |
S. Walser, M. Loibl, G. Feiertag - Munich University of Applied Sciences, Munich (Germany), C. Siegel, M. Winter, K. Mayer, A. Leidl - EPCOS AG A TDK Group Company, Munich (Germany) |
| 18. GMA/ITG-Fachtagung Sensoren und Messsysteme 2016 |
4.3.4 - FBARs (Film Bulk Acoustic Resonators) als CO2-Sensoren mit der Möglichkeit zur akustischen Eliminierung von Querempfindlichkeiten |
R. Hoffmann, M. Schreiter - Siemens Corporate Technology, München (Deutschland), J. Heitmann - TU Bergakademie Freiberg, Freiburg (Deutschland) |