B2 - Neuartiges Sensorprinzip für mikrostrukturierte Gassensoren

Event
11. Dresdner Sensor-Symposium 2013
2013-12-09 - 2013-12-11
Dreikönigskirche - Haus der Kirche Dresden
Chapter
2. Gas- und Partikelsensorik
Author(s)
M. Schreivogel, D. Kunz, R. Rosenberger - Robert Bosch GmbH, Stuttgart/D, W. Menesklou, E. Ivers- Tiffée - Karlsruher Institut für Technologie (KIT), Karlsruhe/D
Pages
210 - 213
DOI
10.5162/11dss2013/B2
ISBN
978-3-9813484-5-3
Price
free

Abstract

Ein neuartiger mikrostrukturierter Gassensor, der auf der Polarisierbarkeit dünner Schichten basiert wird vorgestellt. Die Metall-Isolator-Metall (MIM) Struktur ist extrem einfach aufgebaut, aber trotzdem sensitiv auf weniger als 3 ppm Wasserstoff. Das zu Grunde liegende Funktionsprinzip ist durch die Wahl geeigneter Elektroden auf andere Gase übertragbar. Der Grund für die gasinduzierte Impedanzänderung der Strukturen ist die spannungsabhängige Permittivität der verwendeten Dünnschichten. Gasspezies, die an der Elektroden-Dielektrikum-Grenzfläche adsorbieren, führen zu einer Austrittsarbeitsänderung bzw. einem Spannungsoffset und somit einer Änderung der gemessenen Kapazität bzw. Impedanz.

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