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B3 - Hochsensitiver Strömungssensor in LTCC

Event
11. Dresdner Sensor-Symposium 2013
2013-12-09 - 2013-12-11
Dreikönigskirche - Haus der Kirche Dresden
Chapter
2. Gas- und Partikelsensorik
Author(s)
C. Lohrberg, S. Ziesche - Fraunhofer IKTS, Dresden/D, H. Neubert - TU Dresden/D
Pages
214 - 218
DOI
10.5162/11dss2013/B3
ISBN
978-3-9813484-5-3
Price
free

Abstract

Die Arbeit stellt einen thermischen Strömungssensor in LTCC (Low Temperature Co-fired Ceramics) Technologie vor. Er ist mithilfe graphitbasierter Opferschichten als freitragende Dickschichtstruktur in einem integrierten Kanal realisiert. Durch die geringe Dicke von nur 50 μm werden hohe Sensitivität und geringe thermische Verluste erreicht. Dazu wurde eine LTCC-kompatible Opferschichttechnologie entwickelt und für die Fertigung riss- und verwölbungsfreier freitragender Strukturen optimiert. Eigens entwickelte strömungsmechanisch-thermische Modelle zur Berechnung des Temperaturfeldes im Kanal wurden zur Design- und Technologieoptimierung eingesetzt.

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