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F5 - Hochauflösendes Direktschreiben sensorischer Strukturen unter Anwendung des Aerosoldruckverfahrens

Event
11. Dresdner Sensor-Symposium 2013
2013-12-09 - 2013-12-11
Dreikönigskirche - Haus der Kirche Dresden
Chapter
6. Neuartige Sensormaterialien und –technologien
Author(s)
S. Ziesche, S. Mosch, M. Ihle, U. Partsch - Fraunhofer IKTS, Dresden/D
Pages
325 - 329
DOI
10.5162/11dss2013/F5
ISBN
978-3-9813484-5-3
Price
free

Abstract

Die Anwendung des Aerosoldruckverfahrens in der Herstellung keramikbasierter Sensorik zeigt erhebliche Vorteile gegenüber den konventionellen Herstellungsverfahren der Dick- und Dünnschichttechnik. Im Beitrag wird das Potenzial dieser Technologie durch Vergleich mit alternativen Herstellungsverfahren aufgezeigt und anhand konkreter Beispiele ihre Praktikabilität zur
Verbesserung bestehender sensorischer Lösungen verschiedener Anwendungsbereiche demonstriert.

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