F15 - Chemische Sensoren mit Bariumstrontiumtitanat als funktionale Schicht zur Multiparameterdetektion

Event
11. Dresdner Sensor-Symposium 2013
2013-12-09 - 2013-12-11
Dreikönigskirche - Haus der Kirche Dresden
Chapter
6. Neuartige Sensormaterialien und –technologien
Author(s)
C. Huck, A. Poghossian, M. Bäcker - FH Aachen, Jülich/D, W. Zander, J. Schubert - Forschungszentrum Jülich/D, L. Sukoyan, V. Begoyan, V. Buniatyan - State Engineering University of Armenia, Yerevan/ARM, P. Wagner - Universiteit Hasselt, Diepenbeek/B, M. Schöning - FH Aachen, Jülich/D
Pages
368 - 372
DOI
10.5162/11dss2013/F15
ISBN
978-3-9813484-5-3
Price
free

Abstract

Die herausragenden multifunktionalen Materialeigenschaften und die große Vielfalt in der stöchiometrischen Zusammensetzung von Perowskit-Oxiden wie beispielsweise Bariumstrontiumtitanat (BST) haben großes Interesse bei der Herstellung von Chemo- und Biosensoren für Flüssigkeiten geweckt. In diesem Beitrag werden BST-Dünnfilme als funktionale Schicht für die Multiparameterbestimmung von pH-Wert, Elektrolytleitfähigkeit sowie für die Detektion von geladenen Makromolekülen verwendet. Zur pH-Wertmessung wurde ein kapazitiver Feldeffektsensor mit einer BST-Schicht als alternativem Gatematerial, zur Messung der Elektrolytleitfähigkeit und zur Detektion von geladenen Makromolekülen
wurden Platin-Interdigitalelektroden (IDE) mit einer BST-Schicht als Isolatormaterial und funktionale Schicht verwendet. Die BST-Schichten wurden mittels gepulster Laserdeposition (PLD) auf die jeweiligen Sensorstrukturen abgeschieden.

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