P10.2 - Driftstabile Hochtemperaturtaugliche Piezoresistive Drucksensorsysteme auf Siliziumbasis

Event
12. Dresdner Sensor-Symposium 2015
2015-12-07 - 2015-12-09
Hotel Elbflorenz, Dresden
Chapter
P10. Sensorik für die Luft- und Raumfahrt
Author(s)
R. Täschner, E. Hiller, M. Blech - CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH, Erfurt/D
Pages
337 - 342
DOI
10.5162/12dss2015/P10.2
ISBN
978-3-9813484-9-1
Price
free

Abstract

Die Erschließung neuer Anwendungsfelder und der Drang zur Größenreduktion von hoch stabilen Druckmesssystemen macht die Erweiterung der Einsatztemperaturbereiche der MEMS Primärsensoren nötig. Es wurden daher piezoresistive Drucksensorsysteme für einen deutlich erweiterten Temperaturbereich entwickelt. Die Leckströme der Sensoren konnten im Bereich bis 300°C um 5 Größenordnungen gesenkt werden. Der Einfluss von allseitigen statischen Drücken konnte unter Anderem durch die Anwendung des Niedertemperatur-Silizium-Direktbondens im Mittel auf Werte kleiner 0,007%FS/100bar gesenkt werden. Die entwickelten piezoresistiven Sensoren auf Siliziumbasis zeichnen sich durch eine hohe Montagespannungsresistenz aus. Die Nullpunktabweichungen nach dem zero- und first-level Packaging betragen weniger als 0,01%FS/24h bei Temperaturen von über 200°C.

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