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12. Dresdner Sensor-Symposium 2015	P10.2 - Driftstabile Hochtemperaturtaugliche Piezoresistive Drucksensorsysteme auf Siliziumbasis	R. Täschner, E. Hiller, M. Blech - CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH, Erfurt/D