Potentiometrischer Sensor für reduzierende Gase auf Basis von Zeolithen

Event
10. Dresdner Sensor-Symposium 2011
2011-12-05 - 2011-12-07
Dresden
Chapter
Hochtemperatur-Sensoren II
Author(s)
I. Marr - Hagen, R. Moos - Bayreuth
Pages
181 - 184
DOI
10.5162/10dss2011/11.3
ISBN
978-3942710-53-4
Price
free

Abstract

Die Materialklasse der Zeolithe findet seit einiger Zeit auch im Bereich der Gassensorik Anwendung. In dieser Arbeit wurden planare potentiometrische Gassensoren zur Detektion von Wasserstoff und Kohlenwasserstoffen ohne Reinraumprozesse in Dickschichttechnologie hergestellt. Zusätzlich wurde der Einfluss von Messtemperatur, Testgas, Dicke und Pt-Gehalt der Zeolithschicht und Dicke der sensitiven Cr2O3-Schicht, sowie die Ansprechzeit untersucht.

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