P7.19 - Gas-Diffusionsstudien in porösen In2O3 Monolithen

Event
12. Dresdner Sensor-Symposium 2015
2015-12-07 - 2015-12-09
Hotel Elbflorenz, Dresden
Chapter
P7. Neuartige Sensormaterialien und -technologien
Author(s)
D. Klawinski, D. Klaus, C. Weinberger, M. Tiemann, T. Wagner - Universität Paderborn/D, J. Smått - Åbo Akademi University,Turku/FIN
Pages
288 - 290
DOI
10.5162/12dss2015/P7.19
ISBN
978-3-9813484-9-1
Price
free

Abstract

Poröse In2O3-Monolithe wurden als Dickschicht-Halbleitergassensoren mit Ozon als Prüfgas verwendet. Der Einfluss der Gasdiffusion auf das Sensorsignal der Monolithe konnte gemessen und durch ein vereinfachtes theoretisches Modell erklärt werden.

Download