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3.1.1 Aktuelle Entwicklungen von MEMS IR-Sensorkomponenten

Event
20. GMA/ITG-Fachtagung Sensoren und Messsysteme 2019
2019-06-25 - 2019-06-26
Nürnberg, Germany
Chapter
3.1 Infrarotsensoren
Author(s)
M. Schädel, J. Baldauf, L. Long, J. Freitag, N. Thronicke, K. Neckermann, S. Nieland, A. Grün, I. Käpplinger, T. Ortlepp - CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH, Erfurt (Deutschland)
Pages
200 - 204
DOI
10.5162/sensoren2019/3.1.1
ISBN
978-3-9819376-0-2
Price
free

Abstract

Dieser Beitrag gibt einen kurzen Überblick zu der Thematik MEMS-basierter IR-Gassensoren und Sensorkomponenten und berichtet ausführich über den Stand aktueller Entwicklungen des CiS Forschungsinstitutes in diesem Themenfeld. Es werden verschiedene, auf thermischer Emission basierende IR-Strahler vorgestellt, die sich z.B. durch herausragenden Minaturisierungsgrad oder Wafer-Level-Packaging hervorheben. Als Alternative werden auch Ergebnisse von IR-Strahlern präsentiert, die durch Drucktechniken auf dünnen Membranträgern erzeugt werden. Auf Detektionsseite kommen Thermopiles zum Einsatz, die ebenfalls auf Waferebene hermetisch gehaust werden können. Der Siliziumdeckel kann neben der mechanischen Schutzfunktion dabei gleichzeitig als Träger für optische Filterschichten oder siliziumintegrierte Infrarot-Optiken dienen. Im Beitrag wird ein Einblick in die eingesetzten Technologien gegeben und es werden die bisher erreichten Bauteileigenschaften vorgestellt.

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