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P45 - Calculated electromigration wind force in molybdenum disilicide

Event
iCCC2026 - iCampus Cottbus Conference
2026-05-05 - 2026-05-07
Cottbus
Band
Poster
Chapter
Material- & Prozesstechnologie
Author(s)
J. Baldauf - CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH, Erfurt
Pages
301 - 302
DOI
10.5162/iCCC2026/P45
ISBN
978-3-910600-10-2
Price
free

Abstract

Mit Hilfe von Machine Learning (random forest) konnte die Größe der Windkraft-Komponente der effektiven Ionenladung der Elektromigration in Molybdändisilizid für verschiedene Atomsorten bestimmt werden. Es ist zu erkennen, dass alle Atomsorten einen vergleichsweise kleinen Wert für diese Komponente aufweisen. Da in der Regel die direkte Komponente einen wesentlich kleineren Beitrag zur effektiven Ionenladung ergibt als die Windkraft-Komponente, kann die hier bestimmte Windkraft-Komponente als Näherung der effektiven Ionenladung.

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