P2.08 - Der Einfluss von PtOx auf WO3 MOx-Gassensoren

Event
14. Dresdner Sensor-Symposium 2019
2019-12-02 - 2019-12-04
Dresden
Chapter
P2. Technologien
Author(s)
U. Geyik, U. Weimar, N. Barsan - Eberhard Karls Universität Tübingen, Tübingen/D
Pages
194 - 196
DOI
10.5162/14dss2019/P2.08
ISBN
978-3-9819376-1-9
Price
free

Abstract

Gassensoren, die auf anorganischen Metalloxid-Halbleitern (MOx) basieren, haben sich durch ihre Selektivität, Sensitivität und vor allem durch ihre Preiswürdigkeit durchgesetzt. Meist wird in der Anwendung kein reines Metalloxid eingesetzt, sondern
solche, welche mit unterschiedlichen Additiven beladen sind. Als Additive kommen zum Beispiel Edelmetalle wie Platin, Palladium, Rhodium und Gold zum Einsatz. Diese Edelmetalle haben einen signifikanten Einfluss auf die Sensoreigenschaften. Schon
der erste kommerzielle Metalloxid-Halbleiter basierende Gassensor, TGS 109 von N. Taguchi, basierte auf mit Palladium beladenem Zinndioxid. Die Additive verbessern die Stabilität, Sensitivität oder verändern die Selektivität, indem sie den Sensormechanismus der Gassensoren verändern [1]. Wolfram( VI)-oxid ist neben Zinndioxid einer der am häufigsten eingesetzten Metalloxidhalbleitern für kommerzielle,
chemoresistive Gassensoren. In dieser Studie wurde untersucht, welchen Einfluss das Additiv PtOx (5 at.%) auf WO3 hat und welcher Sensormechanismus (Spill-Over oder Fermi-Level Kontrolle) hierbei dominiert [2], [3].

Download