P2.11 - Miniaturisierter amperometrischer Sauerstoffsensor in Dickschichttechnologie

Event
14. Dresdner Sensor-Symposium 2019
2019-12-02 - 2019-12-04
Dresden
Chapter
P2. Technologien
Author(s)
C. Eckart, S. Dietrich, M. Kusnezoff - Fraunhofer IKTS, Dresden/D
Pages
201 - 204
DOI
10.5162/14dss2019/P2.11
ISBN
978-3-9819376-1-9
Price
free

Abstract

Sauerstoffsensoren sind ein essentieller Bestandteil bei der Überwachung von Verbrennungsprozessen in mobilen und industriellen Anwendungen. Oft werden hierfür potentiometrische Sauerstoffsensoren eingesetzt, welche jedoch aufgrund der logarithmischen Abhängigkeit des Sensorsignals vom Sauerstoffpartialdruck nur in vergleichsweise kleinen Konzentrationsbereichen eine hohe Empfindlichkeit aufweisen. Soll ein Messbereich mit hoher Sauerstoffkonzentration überwacht werden, eignen sich amperometrische Grenzstrom-Sauerstoffsensoren, da ihre lineare Signalabhängigkeit erlaubt, ein breites Spektrum an Sauerstoffkonzentrationen mit ausreichend hoher Genauigkeit abzudecken. Zu den weiteren Vorteilen des amperometrischen Messprinzips gegenüber dem potentiometrischen zählt, dass kein Referenzgas benötigt wird. Dadurch gestalten sich Fertigung und Integration des Sensors deutlich einfacher. Die Messwerte können außerdem mit den vergleichsweise einfach zu berechnenden theoretischen Kennwerten verglichen werden, wodurch eine schnelle und simple Kalibrierung möglich ist.

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