P1.5 Kostengünstige Nass/Nass-Differenzdruckmessung
- Event
- 20. GMA/ITG-Fachtagung Sensoren und Messsysteme 2019
2019-06-25 - 2019-06-26
Nürnberg, Germany - Chapter
- P1: Sensoren
- Author(s)
- R. Werner, H. Schöpe - Analog Microelectronics GmbH, Mainz (Deutschland)
- Pages
- 566 - 572
- DOI
- 10.5162/sensoren2019/P1.5
- ISBN
- 978-3-9819376-0-2
- Price
- free
Abstract
In dieser Veröffentlichung präsentieren wir ein Konzept für einen kostengünstigen, miniaturisierten Sensor zur Messung von Druckdifferenzen unter rauen / nassen Umgebungsbedingungen. Auf die in solchen Fällen oft eingesetzte Trennmembran mit Ölvorlage, die das Messelement vom jeweiligen Medium isoliert, wird hier verzichtet. Stattdessen werden zur Differenzdruckmessung zwei Siliziummesselemente eingesetzt und die Differenzdruckmessung durch zwei Druckmessungen mit relativem Bezug und anschließender Differenzbildung ersetzt. Konstruktionsbedingt kommen die sensiblen Messelemente nur mit ihrer unempfindlichen Rückseite mit dem jeweiligen Messmedium in Berührung, sodass auch elektrisch leitende Flüssigkeiten oder schwach korrosive Gase als Messmedium verwendet werden können.