P1.10 HTCC-Multilayerbasierte Ionensensitive Sensoren für die Wasseranalyse
- Event
- 20. GMA/ITG-Fachtagung Sensoren und Messsysteme 2019
2019-06-25 - 2019-06-26
Nürnberg, Germany - Chapter
- P1: Sensoren
- Author(s)
- C. Feller, U. Partsch, S. Körner - Fraunhofer-Institut für Keramische Technologien und Systeme IKTS, Dresden (Deutschland)
- Pages
- 588 - 593
- DOI
- 10.5162/sensoren2019/P1.10
- ISBN
- 978-3-9819376-0-2
- Price
- free
Abstract
Auf Basis eines mikrosystemtechnischen Ansatzes wurden elektrochemische Sensoren für die Wasseranalyse entwickelt. Zur Erfassung der verschiedenen Messgrößen sind spezielle Dickschichtpasten entwickelt worden, die für die Erzeugung sensitiver Funktionsschichten auf einem HTCC-Multilayer siebgedruckt werden. Je nach Anwendungsgebiet sind die sensitiven Schichten auf dem Sensorarray beliebig austauschbar. Für die Erfassung der Messgrößen pH-Wert, Cu2+-Schwermetallion sowie der Kationen Ca2+, NH4+ und K+ in wässrigen Lösungen erfolgte eine Materialund Prozessentwicklung, um ionensensitive Dickschichtmembranen auf der keramischen Sensorplattform abzuscheiden. Alle ISEs besitzen im untersuchten Messbereich ein sehr gutes Ansprechverhalten und hohe Empfindlichkeiten. Die keramische Mehrlagentechnologie stellt damit ein geeignetes Verfahren da, um robuste und miniaturisierte Multisensoren für die Wasseranalyse herzustellen.