P1.20 Design und Modellierung eines 3D-Nanotasters

Event
20. GMA/ITG-Fachtagung Sensoren und Messsysteme 2019
2019-06-25 - 2019-06-26
Nürnberg, Germany
Chapter
P1: Sensoren
Author(s)
J. Thiesler, G. Dai - Physikalisch Technische Bundesanstalt, Braunschweig (Deutschland), R. Tutsch - Technische Universität Braunschweig (Deutschland)
Pages
642 - 646
DOI
10.5162/sensoren2019/P1.20
ISBN
978-3-9819376-0-2
Price
free

Abstract

In der Nanometrologie werden Strukturen immer kompakter und komplexer, dabei basiert deren Funktionalität auf genau bekannten dreidimensionalen geometrischen Abmessungen und definierter Rauigkeit der Oberfläche. So ist eine Miniaturisierung in der Halbleiterindustrie vielfach durch Wandrauigkeiten (LER = line-edge roughness) limitiert und eine genaue Kenntnis des Fertigungsprozesses ist notwendig. Das vorgestellte Design eines 3D-Nanotasters basiert auf dem Prinzip eines Biegebalkens eines CD-AFM Cantilevers. Dieser strukturierte Biegebalken beinhaltet zwei Festkörpergelenke, ist hinsichtlich isotroper Steifigkeit (<1 N/m) und 3D-Sensitivität optimiert, besitzt eine erste Eigenfrequenz von 59,3 kHz und ist als Taster für Spitzendurchmesser unter 100 nm konzipiert.

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